製品紹介

シリコン共振圧力トランスミッターは、静電励起とピエゾ抵抗検出技術を高精度の多項式温度補償と組み合わせて利用し、広い温度範囲にわたって高精度の圧力測定を実現します。{0}この革新的な送信機は、面内振動を可能にする対称共振ビーム設計を特徴としており、機械振動を互いに打ち消し合うことができます。-ピエゾ抵抗検出技術により、非常に高い信号対雑音比が保証されます。--結果として得られる周波数信号は閉ループ制御回路に統合され、性能を最適化します。-アナログ閉ループ回路は、圧力情報を周波数信号に変換します。その後、RS485 信号に変換される前に、データ収集と温度補償のために高精度デジタル回路によって処理されます。-この設計により、ユーザーの利便性が大幅に向上します。

極めて高い精度

シリコン共振技術による 0.01% FS 精度を備えたこの圧力トランスミッタは、重要なプロセスに対して比類のない測定精度を実現します。

制御アプリケーション。

デジタル信号出力

RS485 デジタル信号出力を備えており、幅広い温度範囲にわたって 0.01% の圧力測定精度と、優れた長期安定性を実現します。-

強力な抗-機能

シリコン共振圧力センサーは静電励起とピエゾ抵抗検出技術を利用しており、強化された信号対雑音比と優れた耐雑音性を提供します。--

工業用-グレードの耐久性

完全溶接された 316L ステンレス鋼ハウジングで構築されており、顧客のニーズに基づいてオプションのシリコンオイル充填をサポートしています。これにより、ステンレス鋼と互換性のあるあらゆる液体および気体の高精度な圧力試験が可能になります。

仕様

半導体製造

このシリコン共鳴圧力トランスミッターは、リソグラフィー装置、エッチングシステム、薄膜堆積チャンバー内の臨界圧力モニタリングを提供します。その卓越した精度と安定性により、クリーンルーム環境での正確なプロセス制御が保証されます。

プロセス産業

化学反応器、蒸留塔、パイプライン監視システムで広く使用されています。送信機の堅牢な構造と耐食性により、メディアの激しい取り扱いに最適であり、デジタル出力により、長距離ケーブルを通じて制御室への信頼性の高いデータ送信が保証されます。-

テストと測定

校正標準、風洞計装、研究室のセットアップに不可欠です。シリコン共鳴圧力トランスミッタは、現場での応用において実験室レベルの精度を実現し、重要な実験データの収集と検証において優れた再現性を備えています。-

高精度の液体レベル測定-

この製品は、潜水艦、潜水艦、水中ロボット、その他の機器の高精度の深度測定のための深度センサーとして機能できます。{0}海洋、湖、河川の運航だけでなく、海洋の探査や開発にも高精度の深度データを提供します。

気象監視

さまざまな気象観測所に導入すると、地域の気圧変化を正確に監視できるようになり、気象予測と記録のための正確なデータソースが提供されます。

単位：mm

product-554-159

1. 適切な取り付け

設置する前に、トランスミッターが周囲温度に安定するまで 1 時間待ちます。検出素子への機械的ストレスを避けるために、取り付けるときは適切なトルク値 (通常 20 ～ 30 Nm) を使用してください。

2. 電気接続

信号伝送には必ずシールド付きツイストペアケーブルを使用してください。{0}シールドを制御システム側で接地するのは、接地ループを防止し、信号の完全性を確保するためだけです。

3. 運用上のベストプラクティス

急激な圧力サイクルや校正範囲の 200% を超える圧力ショックを避けてください。測定精度を確保するために、媒体の温度を指定された制限内に維持してください。

4. 高電力機器から遠ざける-
シリコン共振圧力トランスミッタ内の-高精度アナログ閉ループ制御回路は、高出力デバイスからの干渉を受けやすく、-動作パフォーマンスに影響を与える可能性があります。使用中はそのような機器から離して設置してください。

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